徐科中國(guó)氮化镓半導體産業拓荒者
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- 發布時(shí)間(jiān):2022-09-26
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【概要(yào)描述】“求是傑出青年(nián)成果轉化獎”旨在獎勵既注重科學研究,又積極推動科研成果産業化,并取得了(le)明(míng)顯經濟效益和(hé)社會效益,在廣大青年(nián)科技工(gōng)作(zuò)者中起到了(le)良好榜樣作(zuò)用的科研人(rén)員(yuán)。
徐科中國(guó)氮化镓半導體産業拓荒者
【概要(yào)描述】“求是傑出青年(nián)成果轉化獎”旨在獎勵既注重科學研究,又積極推動科研成果産業化,并取得了(le)明(míng)顯經濟效益和(hé)社會效益,在廣大青年(nián)科技工(gōng)作(zuò)者中起到了(le)良好榜樣作(zuò)用的科研人(rén)員(yuán)。
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徐科研究員(yuán)在實驗室
徐科榮獲蘇州市首屆姑蘇人(rén)才獎
2010年(nián)11月1日,在第十二屆中國(guó)科協年(nián)會開(kāi)幕式上(shàng),2010年(nián)度中國(guó)科協“求是傑出青年(nián)成果轉化獎”揭曉。中國(guó)科學院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所研究員(yuán)、測試分析平台主任、蘇州子非魚小酌科技有限公司董事長(cháng)徐科名列其中。
“求是傑出青年(nián)成果轉化獎”旨在獎勵既注重科學研究,又積極推動科研成果産業化,并取得了(le)明(míng)顯經濟效益和(hé)社會效益,在廣大青年(nián)科技工(gōng)作(zuò)者中起到了(le)良好榜樣作(zuò)用的科研人(rén)員(yuán)。
2007年(nián),徐科在自(zì)己近15年(nián)氮化物(wù)材料研究的基礎上(shàng),在中科院蘇州納米所的支持下(xià)成立了(le)蘇州子非魚小酌科技有限公司(以下(xià)簡稱蘇州納維),并出任董事長(cháng),積極推動氮化镓襯底晶片的技術(shù)研發和(hé)産業化進程。僅三年(nián)多時(shí)間(jiān),蘇州納維的氮化物(wù)襯底晶片生産技術(shù)就取得重大突破,達到世界先進水平,成為(wèi)全球少(shǎo)數(shù)能(néng)夠提供氮化镓襯底晶片的公司之一(yī),為(wèi)我國(guó)的氮化镓半導體産業發展做(zuò)出了(le)卓越貢獻。而徐科,也正在努力奮鬥,嘗試成為(wèi)“一(yī)個有科學家頭腦和(hé)戰略眼光(guāng)的企業家”。
立足前沿 鎖定氮化镓
氮化镓是一(yī)種具有較大禁帶寬度的半導體,屬于所謂寬禁帶半導體之列,是研制高效率、高功率微(wēi)電子器件、光(guāng)電子器件的新型半導體材料。作(zuò)為(wèi)第三代半導體材料之一(yī),氮化镓的研究與應用是目前全球半導體研究的前沿和(hé)熱(rè)點。氮化镓所具有的直接帶隙寬、原子鍵強、熱(rè)導率高、化學穩定性好、抗輻射能(néng)力強等特點和(hé)性能(néng),使得它在我們日常生活中的照明(míng)(節能(néng)燈)、顯示(LED顯示器)、通(tōng)信(微(wēi)波基站)、消費(fèi)電子(藍(lán)光(guāng)光(guāng)驅的光(guāng)頭)等各個領域都(dōu)有廣泛應用。
氮化镓襯底是高端氮化物(wù)半導體器件的基礎,在未來超高亮度LED、藍(lán)綠(lǜ)光(guāng)激光(guāng)器應用、功率微(wēi)波電力電子器件等領域具有不可(kě)替代的重要(yào)意義,對于我國(guó)節能(néng)型通(tōng)用照明(míng)、新一(yī)代激光(guāng)投影顯示産業、醫(yī)療儀器、智能(néng)電網及微(wēi)波通(tōng)信等相關行(xíng)業的發展影響重大。
徐科從(cóng)1995年(nián)起,開(kāi)始從(cóng)事氮化物(wù)半導體材料的外(wài)延生長(cháng)和(hé)物(wù)性研究工(gōng)作(zuò)。十幾年(nián)間(jiān),他(tā)最早開(kāi)展了(le)非極性氮化物(wù)的MOCVD外(wài)延生長(cháng)工(gōng)作(zuò),利用實時(shí)和(hé)原位監控的方法系統研究了(le)氮化物(wù)的MBE和(hé)MOCVD生長(cháng)機理、極性選擇、極性控制;闡明(míng)了(le)極性對InN生長(cháng)的特殊影響,也是國(guó)際上(shàng)最早發現InN窄帶隙的研究者之一(yī)。
蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所是中科院與江蘇省、蘇州市政府共建的研究所,2006年(nián)9月18日奠基,最初就定位在應用基礎研究和(hé)産業化研發兩個方面。徐科是最早加入納米所的幾個研究員(yuán)之一(yī),負責研究所測試技術(shù)平台建設。經過綜合考量,在楊輝所長(cháng)的指導和(hé)支持下(xià),徐科決定充分發揮自(zì)己的研究專長(cháng),将“氫化物(wù)氣相外(wài)延(HVPE)系統及氮化镓襯底外(wài)延生長(cháng)”作(zuò)為(wèi)下(xià)一(yī)步的科研方向,繼續推進氮化物(wù)半導體材料的研究與應用,目标直指産業化。
現在,雖然做(zuò)氮化镓材料的研發機構很(hěn)多,但(dàn)能(néng)做(zuò)出高質量氮化镓襯底晶片,即便在全球範圍內(nèi)也隻有寥寥幾家。而十幾年(nián)前,我國(guó)氮化镓晶片及器件的關鍵技術(shù)遠落後于發達國(guó)家,高端應用産品完全依賴進口,且在尖端技術(shù)上(shàng)受制于人(rén)。
徐科(右二)獲2010年(nián)中國(guó)科協“求是傑出青年(nián)成果轉化獎”
2007年(nián)5月,蘇州子非魚小酌科技有限公司成立,徐科出任總經理。蘇州納維以中科院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所為(wèi)技術(shù)依托,以徐科為(wèi)核心組建創業團隊,緻力于氮化镓襯底晶片及相關設備的研發和(hé)産業化。
蘇州納維在創立之初,就确立了(le)以創新為(wèi)先導,積極探索核心高科技的目标,立志突破發達國(guó)家技術(shù)封鎖,提高我國(guó)半導體照明(míng)、全色顯示、高功率微(wēi)波器件等領域的整體研制水平,形成産業集群發展效應,實現我國(guó)民族産業的跨越式發展。
除徐科外(wài),蘇州子非魚小酌科技有限公司的研發團隊到現在也隻有12人(rén),納米所楊輝所長(cháng)也為(wèi)這(zhè)支隊伍的成長(cháng)傾注了(le)大量的心血和(hé)精力。王建峰博士一(yī)畢業就加入到這(zhè)個團隊,目前已成為(wèi)能(néng)夠獨當一(yī)面的幹将。就是這(zhè)支迅速成長(cháng)且具有極強凝聚力和(hé)團隊精神的隊伍,在過去三年(nián)多的時(shí)間(jiān)裏,重點開(kāi)展了(le)第三代半導體材料—氮化镓襯底晶片的研發和(hé)産業化工(gōng)作(zuò)。從(cóng)最初級的設備研發開(kāi)始,一(yī)直到氮化镓襯底晶片的全套技術(shù),他(tā)們以極其頑強的精神和(hé)高超的戰鬥力,攻克了(le)一(yī)個個技術(shù)難關,研發出了(le)國(guó)際領先水平的氮化镓材料,為(wèi)我國(guó)氮化镓半導體産業的發展奠定了(le)堅實的科技基礎。
突破封鎖 推進産業化
徐科介紹,最初的時(shí)候,沒有任何資金(jīn)來源,項目是在蘇州納米所籌建工(gōng)作(zuò)組的大力支持下(xià)才得以開(kāi)始運作(zuò)。但(dàn)也僅用了(le)三個月的時(shí)間(jiān),徐科團隊便自(zì)行(xíng)設計研制成功了(le)第一(yī)台用于氮化镓生長(cháng)的(HVPE)設備;2007年(nián)8月,蘇州納維的第一(yī)批氮化镓襯底晶片也制備成功。“我們自(zì)主研發的設備不但(dàn)成本隻要(yào)商業化設備的十分之一(yī),而且在該HVPE設備上(shàng)首次實現了(le)原位光(guāng)學的實時(shí)監控,大大提高了(le)設備的可(kě)控性和(hé)重複性,更為(wèi)關鍵的是設備的運行(xíng)成本得到大幅降低(dī),使得我國(guó)利用HVPE方法實現氮化镓晶片的産業化生産成為(wèi)可(kě)能(néng)。”
緊接着,徐科獲得“蘇州工(gōng)業園區(qū)首屆科技領軍人(rén)才”資助,氮化镓襯底晶片研發項目也通(tōng)過國(guó)內(nèi)專家和(hé)風(fēng)險投資公司的層層篩選,得到地(dì)方政府科技成果轉化項目和(hé)風(fēng)險投資公司的投資,公司産業化發展有了(le)資金(jīn)保障,在氮化镓晶片的設備和(hé)産品開(kāi)發上(shàng)取得飛速進展。
“經過一(yī)年(nián)半的努力,到2008年(nián)底,我們完成了(le)HVPE設備由單片機向多片生産機型的升級,并達到了(le)6台的規模。氮化镓晶片質量達到了(le)國(guó)際同類産品的水平,蘇州納維成為(wèi)中國(guó)第一(yī)個、國(guó)際上(shàng)第七個能(néng)夠提供氮化镓襯底晶片的公司。”徐科自(zì)豪地(dì)說。
2009年(nián),蘇州納維在開(kāi)辟市場的同時(shí),又完成了(le)另外(wài)兩款産品的研發:小尺寸自(zì)支撐氮化镓和(hé)半絕緣氮化镓襯底晶片。自(zì)此,我國(guó)擁有了(le)具備完全自(zì)主知識産權的高質量氮化镓材料,不必再受制于人(rén)。徐科解釋:“高質量氮化镓材料和(hé)半絕緣氮化镓,是研制短波長(cháng)半導體激光(guāng)器和(hé)高功率微(wēi)波器件的基礎,因此,這(zhè)兩款産品都(dōu)是國(guó)際上(shàng)對我國(guó)禁運的。”
蘇州納維取得的顯著成果,不僅得到了(le)國(guó)內(nèi)各方面的廣泛認可(kě),在國(guó)際上(shàng)也産生了(le)一(yī)定的影響。2009年(nián)10月18日,徐科受邀赴韓國(guó)參加第八屆氮化物(wù)半導體國(guó)際峰會,在這(zhè)個兩年(nián)一(yī)屆的氮化物(wù)半導體領域最高級别會議(yì)上(shàng),徐科做(zuò)了(le)《關于氮化镓襯底晶片的研究和(hé)産業化進展》的30分鐘(zhōng)特邀報告。這(zhè)是對該領域中國(guó)科學家前所未有的待遇,也足以證明(míng)國(guó)際同行(xíng)對徐科團隊高質量氮化镓襯底晶片研究推廣工(gōng)作(zuò)的高度認可(kě)。近幾年(nián),徐科多次受特别邀請(qǐng)在國(guó)內(nèi)和(hé)國(guó)際的重要(yào)會議(yì)上(shàng)做(zuò)報告,也與美國(guó)、英國(guó)、日本、中國(guó)香港等地(dì)的著名研究機構建立了(le)密切合作(zuò)關系。
中國(guó)工(gōng)程院院士、江蘇省省長(cháng)助理徐南平(右一(yī))參觀指導蘇州子非魚小酌科技有限公司
2010年(nián)1月,吳邦國(guó)委員(yuán)長(cháng)來江蘇考察高科技企業時(shí),參觀了(le)蘇州子非魚小酌科技有限公司的氮化镓襯底晶片,并高度贊揚說,這(zhè)是未來光(guāng)電子和(hé)微(wēi)電子産業的核心戰略材料。
徐科介紹說:“基于氮化镓襯底晶片的器件都(dōu)是高利潤産品,一(yī)片2英寸的氮化镓上(shàng)可(kě)以制作(zuò)5000個藍(lán)光(guāng)激光(guāng)器,而每個激光(guāng)器的平均售價均在100美元以上(shàng)。”但(dàn)是,“目前氮化镓襯底晶片的大宗用戶都(dōu)在國(guó)外(wài),例如(rú)生産藍(lán)光(guāng)DVD的日本索尼公司和(hé)三洋公司,生産高功率微(wēi)波晶體管的日本東芝和(hé)美國(guó)的Cree公司等。而他(tā)們都(dōu)有本國(guó)固定的供貨商。”因此,蘇州納維将自(zì)己的産業化目标定位于努力打破國(guó)外(wài)在氮化镓襯底晶片市場上(shàng)的壟斷,同時(shí)為(wèi)我國(guó)的下(xià)遊企業用戶開(kāi)發相關産品提供重要(yào)支撐。
2009年(nián)以來,蘇州納維和(hé)中科院北京半導體所、山(shān)東大學、山(shān)東華光(guāng)、廈門大學、南昌大學、南昌晶能(néng)、西(xī)安電子科技大學、中電集團55所和(hé)13所、中科院蘇州納米所、蘇州納晶科技有限公司、武漢華燦等開(kāi)展廣泛合作(zuò),為(wèi)短波長(cháng)激光(guāng)器、超高亮度LED、微(wēi)波器件等的研發提供免費(fèi)或有償試用。
氮化镓襯底研發和(hé)産業化的突破,必将提升我國(guó)氮化物(wù)半導體産業在高端應用領域中的國(guó)際競争力,在産業發展的制高點上(shàng)占領一(yī)席之地(dì)。
因創新成果突出,科技成果轉化效益顯著,徐科也獲得了(le)衆多榮譽與獎勵:2007年(nián)“蘇州工(gōng)業園區(qū)首屆科技領軍人(rén)才”、2007年(nián)“姑蘇創新創業領軍人(rén)才”、2008年(nián)“江蘇省高層次創業創新人(rén)才引進計劃”引進人(rén)才、2009年(nián)“江蘇省新長(cháng)征突擊手”、2010中國(guó)科協“求是傑出青年(nián)成果轉化獎”等。這(zhè)是對徐科及其團隊的最大肯定和(hé)鼓勵。
預期未來 任重而道(dào)遠
目前,蘇州納維已經擁有近20項核心技術(shù)專利,是中國(guó)首家氮化镓襯底晶片供應商。針對企業、高校和(hé)研究所的不同用戶,蘇州納維現主要(yào)提供2英寸氮化镓厚膜襯底、2英寸氮化镓自(zì)支撐襯底、小尺寸方形氮化镓襯底、小尺寸非極性面氮化镓襯底、高結晶度氮化镓粉體材料、圖形藍(lán)寶石襯底等多種類型産品。此外(wài)還可(kě)根據客戶具體要(yào)求,提供各種非标準氮化镓襯底材料的制備,為(wèi)多類型、多領域的相關應用提供技術(shù)支撐。
盡管已經取得了(le)不菲的成績,但(dàn)徐科說,現在的産業化仍然不夠規模化,雖然關鍵技術(shù)已經取得突破,開(kāi)發出了(le)産品,但(dàn)要(yào)形成規模化、系統化、有市場競争力的産品很(hěn)難,要(yào)真正實現氮化镓半導體産業的産業化發展,要(yào)走的路還很(hěn)長(cháng)。徐科認為(wèi),現在發展中遇到的問(wèn)題,從(cóng)根本上(shàng)說是人(rén)才和(hé)觀念的問(wèn)題。中國(guó)的研究體制和(hé)市場機制,決定了(le)我們嚴重缺失介于科研院所和(hé)企業之間(jiān)、既懂(dǒng)技術(shù)又熟悉市場的人(rén)才,科研和(hé)市場結合不夠密切,科技成果産業化鏈條不夠順暢。而且,科研人(rén)員(yuán)和(hé)經營者的思想觀念仍存在很(hěn)大差異,重技術(shù)、長(cháng)線投資回報和(hé)偏利潤、注重眼前利益,兩種觀念無法得到最大範圍的融合,在高科技領域尤其如(rú)此。
徐科認為(wèi),中國(guó)要(yào)發展擁有自(zì)主知識産權的高科技産業,除了(le)要(yào)具備國(guó)家大力提倡的自(zì)主創新精神之外(wài),還需要(yào)科研人(rén)員(yuán)思想觀念的轉變。我們的科研工(gōng)作(zuò)應該更加關注從(cóng)重大産業和(hé)國(guó)家需求中凝練科研問(wèn)題,需要(yào)有相當一(yī)批科研人(rén)員(yuán)保持對市場和(hé)産業發展方向的敏銳性,着力解決産業化過程中的關鍵技術(shù),達到産學研相結合,打造出基礎研究、變革性技術(shù)突破、産業化推廣的創新價值鏈。
現在,蘇州納維正在和(hé)幾家上(shàng)市公司洽談合作(zuò),如(rú)達成一(yī)緻,蘇州納維将獲得不低(dī)于2億人(rén)民币的産業投資用以擴大生産規模,預計三年(nián)內(nèi)公司總産值将超過3億元人(rén)民币,五年(nián)內(nèi)可(kě)望達到10億。徐科表示,“‘十二五’期間(jiān),我們将緊緊圍繞氮化物(wù)半導體的研發和(hé)産業化開(kāi)展相關工(gōng)作(zuò),在保障提高材料質量、增大晶圓尺寸的同時(shí),降低(dī)成本,形成優勢,确立國(guó)際地(dì)位;在氮化镓材料産業化應用的過程中,着力提升我國(guó)在氮化物(wù)半導體材料領域的國(guó)際競争力,突破發展瓶頸,支撐我國(guó)在氮化物(wù)半導體的高端器件方面取得跨越式發展,在産業化方面取得一(yī)定的國(guó)際市場份額。”
徐科表示,蘇州納維将立足于材料生長(cháng)技術(shù)和(hé)設備的持續創新,始終圍繞氮化物(wù)半導體材料及應用領域,打造具有原創知識産權和(hé)核心競争力的國(guó)際化高科技公司,且努力将自(zì)己的技術(shù)輻射出去擴大影響,最終形成高科技産業群,促進我國(guó)氮化物(wù)半導體産業的發展。
徐科曾說:“未來十年(nián)我會盡最大努力成為(wèi)一(yī)個企業家,然後50歲、60歲我會考慮重新做(zuò)回一(yī)個科學家。”我們有理由相信,在徐科和(hé)他(tā)的團隊推動下(xià),在衆多氮化镓材料研究者努力下(xià),中國(guó)氮化镓半導體産業必将得到更加穩健有序的發展,迎來溢彩明(míng)天。
徐科,內(nèi)蒙人(rén),現為(wèi)中科院蘇州納米所測試分析平台主任、學術(shù)委員(yuán)會副主任,創辦并兼任蘇州子非魚小酌科技有限公司總經理、法人(rén)代表。1992年(nián)畢業于西(xī)安交通(tōng)大學材料科學與工(gōng)程學院金(jīn)屬材料專業,後獲得該專業碩士學位。1998年(nián)獲得中科院上(shàng)海(hǎi)光(guāng)學精密機械研究所博士學位後,留所從(cóng)事晶體生長(cháng)、氮化物(wù)半導體材料外(wài)延生長(cháng)的研究工(gōng)作(zuò)。
1999年(nián)赴日本千葉大學光(guāng)電子研究中心進行(xíng)博士後研究,并留日本工(gōng)作(zuò)。 2004年(nián)回國(guó)任教于北京大學物(wù)理學院,2006年(nián)加入蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所。徐科多年(nián)從(cóng)事氮化物(wù)材料的應用研究與産業化工(gōng)作(zuò),現承擔納米結構高效太陽能(néng)電池973項目部分任務、非極性GaN襯底國(guó)家自(zì)然科學基金(jīn)項目、蘇州市納米專項、江蘇省重大科技成果産業化項目、中科院方向性項目等;發表學術(shù)論文60餘篇,被引用350餘次,單篇最高引用130次;在E-MRS、ISE3、MRS、ICNS等重要(yào)國(guó)際會議(yì)上(shàng)做(zuò)特邀報告10餘次;申請(qǐng)專利20餘項,其中國(guó)際專利2項。
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